Созданы датчики размером меньше пылинки

Команда ученых Корнельского университета разработала датчики, размер которых не превышает сотни микрон. На монете можно разместить 300 тысяч подобных устройств. В перспективе на их основе появится новое поколение микросенсоров с низким энергопотреблением и большой вычислительной мощностью.

Несмотря на миниатюрный размер, датчики оснащены интегральной схемой, светодиодами и солнечными элементами. Но главной особенностью новинки является платформа, которая дает возможность серийного выпуска. Чтобы адаптировать устройства под создание будущих экономичных сенсоров исследователям пришлось решить сложную задачу.

Крошечные микросхемы не сложно размещать на кремниевой пластине, но добавить к ним сведодиоды из арсенида галлия весьма трудно. Для их интеграции американским ученым пришлось разработать метод сборки, который включает в себя более сотни этапов, 15 слоев фотолитографии и три десятка разных материалов.

По словам ведущего автора исследования Ньюмана Макьюена, идея создания сенсоров и чипов на базе массива датчиков – не нова. Но им удалось воплотить ее в реальность и масштабировать. В ближайшем будущем такие устройства будут производиться миллионами.